단일 저유량 응용 분야를 위한 고순도 가스 정화기 소결 필터
단일, 저유량 응용 분야용 가스 정화기 소결 필터공정 가스의 불순물 수준을 100PPT 이하로 요구하는 고순도 및 초고순도 응용 분야용으로 설계되었습니다.
HENGKO의 소결 가스 정화기는 경제적인 가격으로 상대적으로 낮은 유속을 제공하며 단일 용도에 최적화되어 있습니다.
특징
» 316L 스테인레스 스틸 구조
» 0.3~20slpm의 공칭 유량
» 4.5~300slpm의 최대 유량
» 일체형 입자 여과
» 간단한 설치
애플리케이션
» 반도체 공정 장비
» 용접 가스/퍼지 가스
» 의약품 생산
» 분석 장비
» 어닐링 커버 가스
» 태양광 및 에너지
» 기타 신흥 기술
단일, 저유량 응용 분야를 위한 고순도 가스 정화기
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