高純度ガス精製装置 単一低流量用途向け焼結フィルター
ガス精製器 単一低流量用途向け焼結フィルタープロセスガス中の不純物レベルが 100 PPT 以下であることが必要な高純度および超高純度のアプリケーション向けに設計されています。
HENGKO の焼結ガス精製器は、経済的な価格で比較的低い流量を提供し、単一用途での使用に最適化されています。
特徴
» 316L ステンレス鋼構造
» 公称流量 0.3 ～ 20 slpm
» 最大流量は 4.5 ～ 300 slpm
» 一体型粒子濾過
» 簡単なインストール
アプリケーション
» 半導体プロセス装置
» 溶接ガス/パージガス
» 医薬品生産
» 分析機器
» アニーリングカバーガス
» 太陽光とエネルギー
» その他の新興テクノロジー
単一の低流量アプリケーション向けの高純度ガス精製器
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