高純度ガス精製装置用焼結フィルター（低流量用途向け）
ガス精製装置用焼結フィルター（単一、低流量用途向け）プロセスガス中の不純物レベルが100 PPT以下であることが求められる、高純度および超高純度用途向けに設計されています。
HENGKOの焼結ガス精製装置は、比較的低流量で経済的な価格を実現し、単一用途向けに最適化されています。
特徴
» 316Lステンレス鋼製
» 公称流量：0.3～20 slpm
最大流量：4.5～300 slpm
» 一体型粒子ろ過
» 簡単なインストール
アプリケーション
» 半導体製造装置
溶接ガス／パージガス
» 医薬品製造
» 分析機器
» アニーリングカバーガス
» 太陽光とエネルギー
» その他の新興技術
単一用途、低流量用途向けの高純度ガス精製装置
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