Difusores e filtros de câmara OEM de metal poroso 316L de alta pureza
HENGKO OEM GásOs difusores de câmara proporcionam fluxos de gás uniformes e laminares sem perturbar as partículas na câmara. Esses difusores também removem partículas do gás de entrada, minimizando defeitos no wafer. Eles suportam pressões operacionais mais elevadas e mantêm os ciclos de integridade do produto.
APLICAÇÕES TÍPICAS
Os difusores de câmara são utilizados para ventilação nas seguintes aplicações:
•câmaras de transferência
•câmaras de resfriamento
•câmaras de processo
de interfaces de equipamentos semicondutores (CVD, PVD, Etch, Epi) ou outras câmaras de vácuo
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Difusores e filtros de câmara OEM de aço inoxidável 316L poroso de alta pureza



1. Tamanho de poro preciso, aberturas uniformes e bem distribuídas. Faixa de tamanho de poro: 0,1 µm a 120 µm;
2. Boa respirabilidade, fluxo rápido de gás e líquido e divergência uniforme. É muito superior a outros produtos similares graças à otimização de processos especiais na HENGKO.
3. Boa filtragem, proteção contra poeira e efeito de interceptação, alta eficiência de filtragem. O tamanho dos poros, a velocidade do fluxo e outras características podem ser personalizados conforme solicitado;
4. Alta capacidade de carga, sem necessidade de usar outros suportes auxiliares, podendo ser usado diretamente como elemento estrutural;
5. Estrutura estável, partículas fortemente ligadas sem migração, praticamente inseparáveis em ambientes hostis;
6. Alta resistência à fadiga e ao impacto, resistente a altas pressões, adequado para aplicações com alta diferença de pressão e vazão. Elementos filtrantes de aço inoxidável poroso sinterizado para uso prolongado sob condições de fluido de alta pressão (40 MPa) estão disponíveis;
7. Resistência a altas temperaturas e choque térmico. Os elementos filtrantes de aço inoxidável da HENGKO podem operar a 600 graus Celsius e suportam altas temperaturas mesmo em atmosferas oxidantes;
8. Excelentes funções de separação e redução de ruído como resultado da estrutura capilar multidimensional aninhada em forma de favo de mel;
9. Diferentemente de outros concorrentes, os elementos filtrantes de aço inoxidável da HENGKO não sofreram corrosão em diversos ambientes. Seu desempenho em termos de resistência à corrosão e à ferrugem é comparável ao de produtos de aço inoxidável de alta densidade;
10. Mais de 10 mil tamanhos e tipos de produtos para escolher, personalizáveis conforme necessário para produtos de filtragem em aço inoxidável com múltiplas estruturas complexas;
11. Diâmetro diminuto (5-20 mm), o comprimento do tubo de filtro longo pode chegar a 800 mm;
12. A dimensão processável para o filtro de placa pode ser de até L 800 * W 450 mm;
13. O diâmetro máximo para um filtro de disco pode ser de até 450 mm;
14. A aparência requintada do produto elevará consideravelmente o nível e a imagem do seu produto, sendo um elemento de destaque;
15. Diversos métodos de limpeza estão disponíveis, com forte capacidade de regeneração após limpeza reversa e longa vida útil.











