OEM-kamerdiffusers en -filters van poreus metaal 316L met hoge zuiverheid
HENGKO OEM-gasKamerdiffusers zorgen voor uniforme en laminaire gasstromen zonder de deeltjes in de kamer te verstoren. Deze diffusers verwijderen ook deeltjes uit het binnenkomende gas, waardoor defecten op de wafer worden geminimaliseerd. Ze zijn bestand tegen hogere werkdrukken en behouden de productintegriteit gedurende de gehele productiecyclus.
TYPISCHE TOEPASSINGEN
Kamerdiffusers worden gebruikt voor ontluchting in de volgende toepassingen:
•transferkamers
•koelkamers
•proceskamers
van interfaces voor halfgeleiderapparatuur (CVD, PVD, etsen, epitaxie) of andere vacuümkamers
Wilt u meer informatie of een offerte ontvangen?
Klik op de Online serviceRechtsboven vindt u de contactgegevens van onze verkopers.
OEM-kamerdiffusers en -filters van hoogwaardig poreus roestvrij staal 316L.
1. Nauwkeurige poriegrootte, uniforme en gelijkmatig verdeelde openingen. Poriegroottebereik: 0,1 µm tot 120 micron;
2. Goede adembaarheid, snelle gas- en vloeistofstroom en uniforme divergentie. Dankzij de optimalisatie van speciale processen bij HENGKO is het product aanzienlijk beter dan vergelijkbare producten.
3. Goede filtratie, stofwering en afvangwerking, hoge filtratie-efficiëntie. De poriegrootte, stroomsnelheid en andere eigenschappen kunnen naar wens worden aangepast;
4. Hoog draagvermogen, geen extra ondersteuning nodig, kan direct als constructie-element worden gebruikt;
5. Stabiele structuur, de deeltjes zijn stevig aan elkaar gebonden zonder migratie, vrijwel onscheidbaar onder zware omstandigheden;
6. Hoge vermoeiingssterkte en stootvastheid, hoge drukbestendigheid, geschikt voor toepassingen met een groot drukverschil en debiet. Gesinterde poreuze roestvrijstalen filterelementen voor langdurig gebruik onder hoge druk (40 MPa) zijn beschikbaar;
7. Bestand tegen hoge temperaturen en thermische schokken. HENGKO roestvrijstalen filterelementen kunnen functioneren bij 600 graden Celsius en zijn bestand tegen hoge temperaturen, zelfs in oxiderende omgevingen;
8. Uitstekende scheidings- en ruisonderdrukkingsfuncties dankzij de speciale multidimensionale honingraatstructuur van de capillaire buizen;
9. In tegenstelling tot vergelijkbare producten corroderen de roestvrijstalen filterelementen van HENGKO niet in diverse omgevingen. De corrosie- en roestbestendigheid benaderen die van massieve roestvrijstalen producten.
10. Meer dan 10.000 productformaten en -typen om uit te kiezen, naar behoefte aanpasbaar voor roestvrijstalen filterproducten met meerdere complexe structuren;
11. Zeer kleine diameter (5-20 mm), de lengte van een lange filterbuis kan oplopen tot 800 mm;
12. De verwerkbare afmetingen voor een plaatfilter kunnen oplopen tot L 800 * B 450 mm;
13. De maximale diameter voor een schijffilter kan oplopen tot 450 mm;
14. Een verfijnde productuitstraling zal de kwaliteit en het imago van uw product aanzienlijk verbeteren, aangezien dit een opvallend kenmerk is;
15. Er zijn diverse reinigingsmethoden beschikbaar, een sterk regeneratievermogen na omgekeerde reiniging en een lange levensduur.
