OEM-Kammerdiffusoren und -Filter aus hochreinem, porösem Metall 316L.
HENGKO OEM GasKammerdiffusoren gewährleisten gleichmäßige und laminare Gasströmungen, ohne Partikel in der Kammer aufzuwirbeln. Sie entfernen zudem Partikel aus dem einströmenden Gas und minimieren so Defekte auf dem Wafer. Sie halten höheren Betriebsdrücken stand und gewährleisten die Produktintegrität.
TYPISCHE ANWENDUNGEN
Kammerdiffusoren werden zur Belüftung in folgenden Anwendungen eingesetzt:
•Transferkammern
•Kühlkammern
•Prozesskammern
Schnittstellen von Halbleiteranlagen (CVD, PVD, Ätzen, Epi) oder anderen Vakuumkammern
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OEM-Kammerdiffusoren und -Filter aus hochreinem, porösem Edelstahl 316L.
1. Genaue Porengröße, gleichmäßige und gleichmäßig verteilte Öffnungen. Porengrößenbereich: 0,1 µm bis 120 µm;
2. Gute Atmungsaktivität, hohe Gas- und Flüssigkeitsdurchflussrate und gleichmäßige Divergenz. Dank der Optimierung spezieller Prozesse bei HENGKO ist es anderen vergleichbaren Produkten weit überlegen.
3. Gute Staubdichtigkeit und Abscheidewirkung, hohe Filtrationseffizienz. Porengröße, Durchflussgeschwindigkeit und weitere Leistungsmerkmale können auf Anfrage angepasst werden;
4. Hohe Tragfähigkeit, keine weiteren Stützkonstruktionen erforderlich, kann direkt als Bauelement verwendet werden;
5. Stabile Struktur, die Partikel sind fest miteinander verbunden, ohne zu wandern, und unter rauen Umgebungsbedingungen nahezu untrennbar;
6. Hohe Dauerfestigkeit und Schlagfestigkeit, hohe Druckbeständigkeit, geeignet für Anwendungen mit hohem Druckunterschied und hoher Durchflussrate. Gesinterte poröse Edelstahl-Filterelemente für den Langzeiteinsatz unter Hochdruckbedingungen (40 MPa) sind erhältlich;
7. Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und Hitzeschocks. HENGKO-Edelstahlfilterelemente können bei 600 Grad Celsius betrieben werden und halten auch in oxidierenden Atmosphären hohen Temperaturen stand;
8. Hervorragende Trenn- und Rauschunterdrückungseigenschaften dank spezieller, mehrdimensionaler, wabenförmiger Kapillarstruktur;
9. Im Gegensatz zu vergleichbaren Produkten anderer Hersteller korrodieren die Edelstahl-Filterelemente von HENGKO in unterschiedlichsten Umgebungen nicht. Ihre Korrosions- und Rostbeständigkeit ist vergleichbar mit der von Produkten aus dichtem Edelstahl;
10. Mehr als 10.000 Produktgrößen und -typen zur Auswahl, individuell anpassbar für Edelstahl-Filterprodukte mit mehreren komplexen Strukturen;
11. Winziger Durchmesser (5-20 mm), die Länge des langen Filterrohrs kann bis zu 800 mm betragen;
12. Die verarbeitbaren Abmessungen für Plattenfilter können bis zu L 800 * B 450 mm betragen;
13. Der maximale Durchmesser eines Scheibenfilters darf bis zu 450 mm betragen.
14. Ein ansprechendes Erscheinungsbild des Produkts wertet das Produktniveau und das Image erheblich auf, da es sich um sichtbare Elemente handelt.
15. Es stehen verschiedene Reinigungsmethoden zur Verfügung, die eine starke Regenerationsfähigkeit nach der Rückreinigung und eine lange Lebensdauer ermöglichen.
